不銹鋼工作臺(tái)的精密加工和精密測(cè)量工藝裝備對(duì)定位工作臺(tái)提出了高精度、高速度、長(zhǎng)行程的技術(shù)要求，因此對(duì)定位工作臺(tái)材料的選用也有非常高的要求。材料的選用直接影響著定位工作臺(tái)的性能，采用低密度、非磁性和高剛度材料的趨勢(shì)越來(lái)越明顯。

理論研究與實(shí)驗(yàn)研究表明，精密定位工作臺(tái)采用低密度、高剛度的材料制造，可以減輕系統(tǒng)的質(zhì)量，提高整個(gè)系統(tǒng)的剛度，從而提高定位工作臺(tái)的動(dòng)態(tài)性能。
為此，不銹鋼工作臺(tái)通常采用氧化鋁陶瓷、碳化硅等密度小、楊氏模量大的材料制作導(dǎo)軌，而在定位工作臺(tái)的測(cè)量系統(tǒng)中常用殷鋼制作基座。殷鋼是由63．8％的鐵、36％的鎳以及0．2％的碳所組成的合金，其膨脹系數(shù)很低，通常稱為“不脹鋼”。
在微電子加工和精密定位設(shè)備中，該類材料是制造對(duì)散熱、尺寸等要求嚴(yán)格的工作臺(tái)的極佳材料之一。不銹鋼工作臺(tái)基準(zhǔn)反射鏡的材料采用零膨脹玻璃。由于Zerodur(微晶玻璃材料的一種)具有低膨脹系數(shù)和良好的加工性能，因此常用來(lái)加工定位工作臺(tái)的測(cè)量部件和其他重要零件。

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